Phòng thí nghiệm Photonic
Danh mục thiết bị
Thiết bị khoa học
| Tên thiết bị | MÁY TẠO MẪU QUANG KHẮC BẰNG CHÙM TIA (The universal nanolithography and nanofabrication system using beam) |
|---|---|
| Model | ELPHY Quantum |
| Hình ảnh thiết bị | 
|
| Đặc tính kỹ thuật | Xử lý tệp GDSII chuyên nghiệp - Mô hình hóa chức năng chụp hình - Truy cập từ xa các tham số SEM hoặc FIB có liên quan - Chặn chùm tia và điều khiển bệ mẫu - Chức năng quang khắc nâng cao như là: Quy trình 3D hoặc hiệu chỉnh hiệu ứng tiệm cận - Khả năng khắc nano chuyên dụng cho FIB - Tốc độ ghi tối đa: 6 MHz - Thời gian chờ tối thiẻu: < 100 ns. |
| Dự án | Phòng thí nghiệm Photonic |
| Vị trí đặt thiết bị | Nhà 2H, 18 Hoàng Quốc Việt |
| Năm đưa vào sử dụng | 2024 |
| Người phụ trách |