Photonic Laboratory
List of equipments
Scientific Equipment
| Equipment name | The universal nanolithography and nanofabrication system using beam |
|---|---|
| Model | ELPHY Quantum |
| Equipment image | 
|
| Specifications | Xử lý tệp GDSII chuyên nghiệp - Mô hình hóa chức năng chụp hình - Truy cập từ xa các tham số SEM hoặc FIB có liên quan - Chặn chùm tia và điều khiển bệ mẫu - Chức năng quang khắc nâng cao như là: Quy trình 3D hoặc hiệu chỉnh hiệu ứng tiệm cận - Khả năng khắc nano chuyên dụng cho FIB - Tốc độ ghi tối đa: 6 MHz - Thời gian chờ tối thiẻu: < 100 ns. |
| Project | Photonic Laboratory |
| Location | Nhà 2H, 18 Hoàng Quốc Việt |
| Year of deployment | 2024 |
| Manager |