Phòng thí nghiệm Photonic
Danh mục thiết bị
Thiết bị khoa học
| Tên thiết bị | HỆ PHÚN XẠ (Sputtering) |
|---|---|
| Model | DV-502M |
| Hình ảnh thiết bị | 
|
| Đặc tính kỹ thuật | - Cửa mở trước 8” (200 mm OD) lên đến 150 mm mẫu - Tấm đế 15” - Đồng hồ chân không - máy đo độ chính xác cao từ 0,1-100 mTorr - Nguồn phún xạ cho phép phún xạ đồng thời 2 vật liệu cùng 1 lúc - Bộ gia nhiệt có công suất điều khiển: 1kW và nhiệt độ tối đa: 200oC. |
| Dự án | Phòng thí nghiệm Photonic |
| Vị trí đặt thiết bị | Tầng 6, số 10 Đào Tấn |
| Năm đưa vào sử dụng | 2024 |
| Người phụ trách |