Photonic Laboratory
List of equipments
Scientific Equipment
| Equipment name | Sputtering |
|---|---|
| Model | DV-502M |
| Equipment image | 
|
| Specifications | - Cửa mở trước 8” (200 mm OD) lên đến 150 mm mẫu - Tấm đế 15” - Đồng hồ chân không - máy đo độ chính xác cao từ 0,1-100 mTorr - Nguồn phún xạ cho phép phún xạ đồng thời 2 vật liệu cùng 1 lúc - Bộ gia nhiệt có công suất điều khiển: 1kW và nhiệt độ tối đa: 200oC. |
| Project | Photonic Laboratory |
| Location | Tầng 6, số 10 Đào Tấn |
| Year of deployment | 2024 |
| Manager |