Phòng thí nghiệm Photonic
Danh mục thiết bị
Thiết bị khoa học
| Tên thiết bị | MÁY PHỦ QUAY SPINCOATING (Spin coater) |
|---|---|
| Model | WS-650Mz-23NPPB |
| Hình ảnh thiết bị | 
|
| Đặc tính kỹ thuật | Kích thước đế: wafer Ø6" (~150 mm) hoặc đế vuông 5" (~125 mm) - Độ dày: 0,1 - 1,0 mm Tốc độ quay tối đa 12.000 vòng/phút - Gia tốc quay có tải tối đa: 13.000 vòng/phút/giây - Bước thời gian: 1 giây đến 99 phút, 59,9 giây - Độ phân giải bước thời gian: 0,1 giây. |
| Dự án | Phòng thí nghiệm Photonic |
| Vị trí đặt thiết bị | Tầng 6, số 10 Đào Tấn |
| Năm đưa vào sử dụng | 2024 |
| Người phụ trách |